Назад

О курсе


  • Курс освещает проблемы аттестации поверхностей элементов сложных рентгенооптических схем, таких как объектив рентгеновского литографа или микроскопа. Обосновываются требования к субнанометровой точности, объясняется, какое влияние на формирование изображения оказывают шероховатости и искажения формы пространственных частот 10-6- 102 обратных мкм.


  • Рассматриваются методы аттестации поверхности в высоком, среднем и низкочастотном пространственном диапазонах, такие как оптическая интерферометрия, сканирующая зондовая микроскопия, рентгеновская дифрактометрия. Обсуждаются физические ограничения методов.


  • Все методы применяются на практике, при этом практические работы выполняются на реальном рабочем оборудовании Институт физики микроструктур Российской академии наук.


  • Слушатели, успешно освоившие предложенную программу, смогут претендовать на работу в научно-исследовательских институтах и предприятиях микроэлектронной промышленности.

Содержание курса

Раздел 1. Введение. Сверхгладкие высокоточные оптические элементы

Постановка задачи. Обоснование требований к качеству поверхности рентгенооптических элементов в задачах изображающей оптики.
Характеристика качества поверхности: PV, RMS, PSD –функция, эффективная шероховатость.
Диапазоны пространственных частот и их влияние на формирование изображения. Методы измерения неровностей поверхности.

Раздел 2. Интерферометр с дифракционной волной сравнения для аттестации формы поверхности в диапазоне низких пространственных частот

Основы оптики. Распространение, отражение и преломление волн.
Понятие об интерференции и дифракции волн.
Виды интерферометров (оптические, радио, акустические).
Схемы оптического интерферометра, формирование карты поверхности.
Интерферометр с дифракционной волной сравнения (схемы измерения, диапазон пространственных частот, физические ограничения метода).
Идеальная линза и построение изображения. Аберрации и их виды. Корректоры волнового фронта.
Практическая работа 1. "Изучение методики работы на интерферометре с дифракционной волной сравнения". Получение карты поверхности опытного образца.

Раздел 3. Интерферометр белого света для аттестации поверхности в диапазоне средних пространственных частот

Интерферометр белого света.
Принцип работы, оптическая схема.
Диапазон пространственных частот.
Физические ограничения метода.
Практическая работа 2. "Изучение методики работы на интерферометре белого света".

Раздел 4. Атомно-силовой микроскоп для аттестации поверхности в диапазоне высоких и средних пространственных частот

Сканирующая зондовая микроскопия: виды, ограничения, особенности.
Атомно-силовой, сканирующий туннельный и ближнепольный варианты. Диапазон пространственных частот.
Физические ограничения метода.
Практическая работа 3. "Изучение методики работы на атомно-силовом микроскопе".

Раздел 5. Рентгеновский дифрактометр для аттестации поверхности в диапазоне высоких и средних пространственных частот

Оптические характеристики веществ в рентгеновском диапазоне.
Отражение излучения гладкой и шероховатой поверхностью.
Определение PSD – функции по кривой рассеяния.
Диапазон пространственных частот. Физические ограничения метода. Эффективная шероховатость и ее связь с величиной шероховатости, полученной методом отражения рентгеновского излучения.
Практическая работа 4. "Изучение методики работы на рентгеновском дифрактометре".

Преподаватели

Красильник Захарий Фишелевич

Руководитель программы, доктор физико-математических наук, член-корреспондент Российской академии наук.

Чхало Николай Иванович

Научный руководитель программы, доктор физико-математических наук, заведующий отделом Многослойной рентгеновской оптики Института Физики Микроструктур РАН, заведующий лабораторией коротковолновой прецизионной оптики и перспективного приборостроения, главный научный сотрудник, автор более чем 300 публикаций в научных журналах и 16 патентов, лауреат премии им. А.Г. Столетова, награжден медалью МинОбрНауки «За вклад в реализацию государственной политики в области научно-технологического развития», руководитель грантов МинОбр, РНФ и РФФИ.

Пестов Алексей Евгеньевич

Кандидат физико-математических наук, заведующий лабораторией Методов прецизионной обработки рентгенооптических материалов, старший научный сотрудник. Соавтор более чем 100 работ в рецензируемых журналах, 3 патентов и 3 монографий.

Михайленко Михаил Сергеевич

Младший научный сотрудник отдела Многослойной рентгеновской оптики ИФМРАН. Имеет опыт более 7 лет в области ионного распыления и его приложений. Автор и соавтор более 30 научных статей. Один из соавторов патента «Способ осесимметричной коррекции оптических деталей произвольной формы». Лауреат стипендии имени академика Г.А. Разуваева, конкурса молодых ученых ИФМРАН, спикер школы навыков будущего "Лидерландия" (Soft Skills) (2020), финалист всероссийского этапа Федерального Студенческого Турнира Трёх Наук (2018).

Скороходов Евгений Владимирович

Кандидат физико-математических наук, научный сотрудник отдела магнитных наноструктур ИФМ РАН. Автор более 60 статей и 2-х патентов. Область научных интересов: сканирующая зондовая микроскопия; сканирующая электронная микроскопия; СВЧ, транспортные и оптические свойства магнитных наноструктур.

Барышева Мария Михайловна

К. ф.-м.н., научный сотрудник отдела Многослойной рентгеновской оптики ИФМРАН, доцент кафедры ФНН РФ ННГУ.

Оставьте заявку